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產品描述
參數
產品概述:
微納級半導體光電特性檢測儀是自主研制的用于陣列化、高速、高靈敏度半導體晶圓研發/生產/測試過程的光電特性參數檢測的自動化測試與數據處理設備。產品由精密四軸移動臺體、探針、卡盤、IV/CV/脈沖/噪聲測量裝置、溫度控制與低溫除濕裝置、光信號激勵源、CCD顯微鏡、密封屏蔽箱、控制計算機和數據分析軟件組成。
產品具有大行程（滿足4～12英寸半導體晶圓測試）、高定位精度（±0.5µm）、寬溫區測試環境（-60～300℃）、高溫控精度（±0.1℃）、高可靠性（連續工作時間＞168h）、可定制特點。
應用領域:
半導體/微電子、微機電、IC設計/制造/測試/封裝、光電、生物科學、航空航天等
主要技術指標:
|
序號 |
參數 |
指標 |
|
|
1 |
X、Y軸行程 |
mm |
150×150/200×200/300×300 |
|
2 |
Z軸行程 |
mm |
10 |
|
3 |
X/Y/Z軸定位精度 |
μm |
0.5/1/3 |
|
4 |
X/Y/Z軸重復定位精度 |
μm |
0.25/1/3 |
|
5 |
R軸行程 |
° |
±10 |
|
6 |
R軸定位精度 |
′ |
0.1 |
|
7 |
卡盤平面度 |
′ |
0.05 |
|
8 |
高低溫環境 |
℃ |
-60～300/常溫～300 |
|
9 |
溫度控制精度 |
℃ |
±0.1/±1 |
|
10 |
溫度均勻性 |
℃ |
±2 |
|
11 |
漏電流 |
fA |
100 |
|
12 |
電流測量范圍 |
/ |
1pA～1A /100pA～1A |
|
13 |
電流最優精度 |
/ |
1.000% + 10fA/0.15% + 120fA |
|
14 |
電壓測量范圍 |
/ |
200mV～200V |
|
15 |
電壓最優精度 |
/ |
0.012% + 100μV/0.015% + 225μV |
|
16 |
電容測量范圍 |
/ |
1pF～1uF |
|
17 |
電容最優精度 |
|
0.12% ±100nF |
|
18 |
連續工作時間 |
h |
＞168h |
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